11月25日，走進位於晉城經濟技術開發區的青禾晶元（晉城）半導體材料有限公司，在近千平方米的無塵廠房，一台台高精度設備有序運轉，身著無塵服的技術人員全神貫注地監控著各項數據指標。“剛拿下的創新創業大賽新材料全國賽大獎，給我們企業發展增添了極大的信心和干勁。”該公司總經理姚志勇振奮地說道。

原來，在日前揭曉的第十三屆中國創新創業大賽新材料全國賽中，青禾晶元（晉城）半導體材料有限公司憑借新一代先進半導體復合襯底材料項目，榮獲成長組優秀企業獎，這也是我省唯一一家獲獎企業。

青禾晶元（晉城）半導體材料有限公司於2021年落地晉城經開區，是北京青禾晶元半導體科技有限責任公司的全資子公司，主要從事半導體材料的研發、生產、銷售和技術服務，致力於將國際前沿的半導體材料異質集成技術在國內實現產業化，推動國產新一代半導體襯底材料高產能、高質量、低成本量產。“濾波器是許多通信系統中不可或缺的組成部分，能夠提高系統的性能和穩定性。而我們所產的材料性能決定了濾波器的制造水平。”姚志勇告訴記者，“我們擁有40余名研發人員，他們每天都對產品的性能進行測試、分析，確保產品質量。”

走進企業，投資近億元建設的高質量鈮酸鋰、鉭酸鋰等復合襯底量產線，主要研發和生產6英寸高質量鈮酸鋰、鉭酸鋰等復合襯底，可有效解決目前國內鈮酸鋰、鉭酸鋰等復合襯底材料行業工藝相對落后，普遍存在的材料性能不足、良率低、價格高、產能不足等行業共性技術難題，解決了我國關鍵半導體材料的“卡脖子”難題。目前，該公司已申請專利46項，其中發明專利38項、實用新型專利8項。獲得授權專利34項，其中發明專利31項、實用新型專利3項。

“就這樣一片6英寸的復合襯底，可以生產上萬個濾波器。”在展櫃前，姚志勇指著一片不起眼的“圓盤”繼續介紹道。在自主研發和持續創新的加力下，企業掌握的室溫晶圓鍵合、剝離技術，可以將單晶硅襯底與鈮酸鋰或鉭酸鋰襯底進行復合，有效避免熱應力、熱損傷和界面孔洞等傳統鍵合技術的問題，具備其他材料無法比擬的壓電性能，還降低了加工成本與加工流程，技術實力處於行業領先。

當前，晉城經開區聚焦打造“千億級光機電產業集群”高質量轉型發展目標，不斷加大對企業的支持力度，積極引進高科技項目，搭建科技成果轉化平台，光機電產業已成為晉城增幅最大、發展最快、最具潛力的新興產業。（鄭璐 閆妮莎）

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